由于四氟化碳在等离子表面处理设备中被电离后会产生含氢氟酸成分的蚀刻性气相等离子体，这些等离子体能够有效地对各种有机表面实现有机物去除及等离子蚀刻的作用，因此使用四氟甲烷蚀刻被广泛应用于太阳能电池板制造、线路板制造、晶圆制造等半导体电子行业。但是蚀刻过后的四氟化碳却对人体而言是有害的，那么
等离子蚀刻四氟化碳气体有毒吗？一般而言，低浓度时，四氟甲烷是无毒的，但是当现场环境空气中积聚的四氟化碳浓度过高时，就会对人体健康造成危害，因此，需要在现场安装使用
四氟甲烷蚀刻剂泄漏浓度报警器，以免发生危险。
刻蚀通常又会被称为蚀刻、咬蚀、凹蚀等，刻蚀作用是利用典型的气体组合形成具有强烈蚀刻性的气相，实现刻蚀所使用的气体大多为含氟气体，应用最多的是四氟化碳。等离子体刻蚀机是基于真空中的高频辉光放电反应将四氟化碳中的氟离子电离出来，使反应气体激活成活性粒子，与被刻蚀材料起化学反应产生辉发性物质进行刻蚀。
四氟化碳能引起快速窒息，接触后可引起头痛、恶心和呕吐。四氟化碳，又称作四氟甲烷、全氟甲烷、R14，化学式为CF4，在常温常压状态下是一种无色无臭有轻微醚味的气体，惰性低毒物质，在高浓度下是窒息剂，在高温时，或与可燃气体一同燃烧时，分解出有毒的氟化物。若人体吸入高浓度四氯化碳,可能会产生头痛、恶心、头昏眼花及心血管系统的破坏(主要是心脏)。
四氟化碳对人体不同部位的危害：
1、
黏膜
四氯化碳可刺激皮肤、眼、鼻腔，以及咽喉部的黏膜，造成瘙痒、流泪、打喷嚏、咳嗽等刺激反应。在脱离现场后，症状可逐渐消失；
2、
神经
在接触四氯化碳数小时或2-3天后，可出现易激惹、眩晕以及呕逆等表现。较为严重者，可有肌张力增强，腱反射亢进，还可出现昏厥、抽搐等症状，或出现视神经炎、肢端感觉障碍等疾病；
3、
肝脏
四氯化碳是典型的肝脏毒物，可引起肝小叶中心坏死性肝炎，出现恶心、右上腹疼痛等自觉症状。甚至会出现肝脏肿大、黄疸，可伴有明显压痛。检查肝功能及血常规时，可发现转氨酶、胆红素、胆固醇、三酰甘油明显升高；
4、
肾脏
四氯化碳可引起肾小管上皮细胞变性、坏死，导致肾脏损害。严重中毒时，由于广泛性肾小管变性坏死，可出现少尿、蛋白尿、血尿甚至尿闭等情况，最终导致急性肾衰竭；
5、
其他器官
四氯化碳可引起心肌损害、室性期前收缩以及肾上腺皮质出血等情况。心室颤动或延髓生命中枢受到抑制，可导致患者死亡。若口服四氯化碳，也可刺激胃肠道黏膜造成损伤，同时可加重肝脏损害。
以赢润集团研发生产的ERUN-PG51CF4
固定在线式四氟化碳R14检测报警仪和ERUN-PG71S6-CF4
便携泵吸式R14四氟化碳检测报警仪为例，可分别针对固定安装实时在线监测和便携手持方便快速检测四氟化碳CF4气体的浓度值，并可根据需求选配风速、压力、噪声、PM2.5、PM10、风向、温湿度等参数指标。
固定在线式四氟化碳气体检测报警仪技术参数：
产品型号：ERUN-PG51CF4
检测气体：四氟化碳CF4
量程范围：0-2000ppm、1ppm、进口高精度红外原理传感器，其他量程、原理、分辨率可订制
精度误差：≤±2%F.S.（更高精度可订制）
显示方式：报警器2.5寸彩屏现场显示浓度值；控制器主机9寸彩屏值班室显示浓度值
报警方式：现场声光报警，值班室声光报警
数据传输：4-20mA、RS485，可选无线传输
防护功能：IP65级防水防尘
防爆功能：隔爆型，Ex d ⅡC T6 Gb级防爆
便携手持式四氟化碳气体报警仪技术参数：
产品型号：ERUN-PG71S6-CF4
检测气体：四氟化碳CF4
量程范围：0-2000ppm、1ppm、进口高精度红外原理传感器，其他量程、原理、分辨率可订制
精度误差：≤±2%F.S.
最小显示：0.001ppm、0.001%VOL、0.1%LEL
方法原理：电化学、催化燃烧、红外、激光、PID光离子、热导等
测量方式：泵吸式，流量500毫升/分钟
显示方式：2.5寸高清彩屏
报警方式：声音+闪光+振动+屏幕、关闭报警可选
响应时间：T90≤20秒
工作电源：3.7 V DC，6000 mA可充放电池
数据存储：标配10万条，支持定时存储或只存储报警信息
数据传输：USB、RS232，可选配RS485
防护形式：IP67级防水防尘
防爆形式：Ex ia ⅡC T4 Ga级防爆
外型尺寸：178×67×40mm(L×W×H)
产品重量：350 g
温度测量：-40℃~+120℃、精度0.5℃（选配）
湿度测量：0-100%RH、精度3 %RH（选配）
采样手柄：1.2m可伸缩采样手柄（选配）
以上就是关于
等离子蚀刻四氟化碳气体有毒吗的相关介绍，总结一下，四氟化碳是一种无色无味的气体，无毒、不燃，但在高浓度时具有麻醉作用的气体，吸入高浓度的四氟化碳出现呼吸困难、呕吐等窒息症状。而在现场安装使用
四氟甲烷蚀刻剂泄漏浓度报警器就是为了对环境空气中的四氟化碳泄漏积聚气体的浓度值进行监测，有效保护太阳能电池板制造、线路板制造、晶圆制造等半导体电子行业使用四氟甲烷作为蚀刻剂的现场作业人员的身体健康。
